西安弈斯伟硅片项目一期主要新建12英寸(300毫米)集成电路用硅单晶抛光片和外延片,建设内容包括生产厂房、拉晶厂房、综合动力厂房、废水处理站、固废站、气体库、化学品库、大宗气站、门卫等建筑。
主要生产过程在封闭的一定温度、湿度以及洁净度的空间中进行,每周工作7天、每天24小时连续生产,自动化程度高,维持生产需要多种气体、化学品、水系统等支持。对用电质量稳定性及可靠性要求较高,一旦因电力问题发生导致连续生产被打乱,需要较长时间才能恢复。
本项目需要进行谐波治理为加热炉负载,加热炉工作时会产生大量谐波电流,产生的谐波不仅影响到自身设备的正常工作,而且会注入到电网中影响公共连接点所连接的其他支路的负荷,给系统带来严重的电能质量问题,不利于供电设备的安全运行。
半导体行业的3次谐波非常严重,主要是由于生产中使用了大量的单相整流设备。3次谐波属于零序谐波,具备在中性线汇集的特点,导致中性线压力过大,会出现打火现象,存在着生产安全隐患。谐波还会造成断路器跳闸,耽误生产时间。3次谐波在变压器内形成环流,加速了变压器的老化。严重的谐波污染对配电系统中的设备使用效率和寿命造成影响。
针对本项目低压供电系统,每套加热炉就地增加BW-APF有源滤波装置,进行谐波治理,可有效保证供电质量。
本项目生产线配置东方博沃有源滤波装置APF,有效补偿了负载运行产生的各特征次谐波,消除谐波对生产环节的影响,保证用电设备的安全运行,提高配电系统的稳定性,提高变压器的带负载能力,节约设备更替的投资。