半导体芯片制造业在国民经济中起着举足轻重的作用，相关企业的规模也越来越大，其供配电系统稳定、可靠的运维不仅是其安全生产的基本保证，还关系到产品质量和生产的顺利进行。

• 集成电路芯片制造业属于资金和技术高度密集的精密制造行业，其生产有着显著的特点，生产过程要求环境洁净度高，对温度和湿度均有较为严苛的要求。
• 生产过程中大规模使用电子器件和集成电路且自动化程度比较高。
• 集成电路芯片制造关键设备多、工位器具多、工艺步骤繁多复杂。除供配电系统外，还需传送系统、超纯水净化系统、真空系统、气冷风冷系统、特殊气体分配系统来保证生产过程的顺利实施以及关键设备的安全运行。

由于整个工厂的生产条件***终通过电能供给来实现，因此半导体芯片制造对供电质量要求非常高。

半导体芯片制造生产存在的电能质量问题

一、谐波问题

IC测试台、PLC控制的机械手、芯片制造用的品圆机、或变频控制的半导体机台都会产生大量的谐波，它们不但会造成机台设备自身的坏机现象，回流进电网的谐波电流还会引起其它回路的发热，电子开关误动作、供电电压不稳，甚至引起生产线停线、半成品的报废。

二、电压暂降及中断

半导体制造设备非常昂贵，不少设备价值高达几百万美元，对供电电压波动非常敏感，毫秒级的电压波动，足以使得半导体工厂的工艺设备发生停机从而中断生产，造成巨大的经济损失。且芯片生产制造工艺步骤繁多，常规的动态存储内存加工工艺需要 200 道以上工序，其中任何一步出错都会直接影响产品的合格率，让昂贵的芯片一文不值。

对电压波动敏感的半导体工艺设备类型(几乎囊括了所有半导体设备的类型)：刻蚀设备（干刻和湿刻）、膜扩散沉淀设备（化学气相沉淀和物理气相沉淀）、加热设备、表面处理和洗净设备、光刻设备（步进光刻机和轨道光刻机、扫描光刻机）、化学机械抛光设备、离子注入设备、测定设备、自动测试设备等。

国家发改委经济调节运行局曾委托亚洲电能质量产业联盟开展了电能质量经济性影响调查，经过大量的调研与分析，都表明电压暂降与短时中断都是非常显著的电能质量问题，且其中半导体行业因电能质量扰动带来的生产损失巨大。

电压暂降及中断使半导体生产设备停机，从而造成的直接损失和间接损失包括

• 直接损失:半导体硅片损坏和浪费、设备寿命缩短甚至损坏、清理产线的人工成本等。
• 间接损失:重新启动生产线需要的时间、降低产品品质、延误交货时间等。

每一次停机所造成的经济损失在半导体行业是以几十万、几百万甚至上千万计算，所以电压暂降问题已成为影响半导体制造厂非常重要的电能质量问题，加强对电压暂降等电压事件的监测分析与治理具有十分重要的现实意义。

解决方案

电压暂降问题给半导体行业带来了严重危害，为此，东方博沃提供了一套完整的解决方案，具体如下：

应用案例

1、BW-DVR在成都某大型半导体厂家应用

2、BW-APF在西安西弈斯伟硅片项目的应用